МЕНЮ

Соответствие сверхвысоким требованиям чистоты при производстве пластин: антикоррозионный магнитный насос Syngon для циркуляции отработанных растворов, используемых в процессе травления полупроводников.

Время публикации:

2026-10-13

Для процессов очистки полупроводниковых пластин компания Syngon Industrial Equipment разрабатывает высокочистые антикоррозионные магнитные насосы с фторопластовым покрытием, предотвращающие выпадение металлических ионов. Эти насосы подходят для транспортировки крайне агрессивных чистящих сред, таких как фтористоводородная и серная кислоты, обеспечивают поддержание чистоты рабочей жидкости на этапе производства микросхем и исключают загрязнение пластин.

Очистка пластин — ключевой этап производства микросхем. При этом применяется большое количество высокочистых сильнокислотных реагентов. Мельчайшие металлические примеси, попадающие в рабочую жидкость, могут привести к браку пластин и значительным производственным потерям. Металлические детали традиционных насосов подвержены коррозии и выделяют ионы, а утечки механических уплотнений создают риск коррозии и угрозы безопасности. Компания Syngon разработала оптимизированные антикоррозионные магнитные насосы, специально предназначенные для условий очистки в полупроводниковой отрасли. Корпус насоса выполнен с интегрированной фторопластовой (PVDF) футеровкой; на контактирующих с жидкостью деталях отсутствует необработанный металл, что обеспечивает стойкость к непрерывной коррозии под воздействием сильных кислот и предотвращает загрязнение ионами металлов. Бесконтактный магнитный привод принципиально исключает риски утечек при круглосуточной непрерывной циркуляции растворов для травления. Высокополированные внутренние каналы потока снижают остатки рабочей среды и обеспечивают возможность проведения очистки «на ходу». Возможна установка системы регулирования частоты вращения, позволяющей автоматически адаптировать расход в соответствии с технологическим циклом очистки. Данная серия магнитных насосов успешно внедрена на нескольких предприятиях‑поставщиках полупроводниковой продукции; она гарантирует стабильную чистоту жидкости и отсутствие утечек в условиях длительной эксплуатации. Компания Syngon осуществляет индивидуальную настройку материалов футеровки и конструкции насоса с учётом состава рабочей среды, параметров расхода и напора, предлагая решения по бесконтактной транспортировке жидкостей для производства электроники.

Стабильная транспортировка вязких материалов: магнитный насос Syngon для высоковязких сред решает задачи подачи смол и масляных сред.

Цифровой мониторинг обеспечивает предиктивное техническое обслуживание, а интеллектуальный модуль Syngon сокращает незапланированные остановки химических магнитных насосов.